По умолчанию Process Monitor сохраняет все, включая видимые и невидимые события (скрытые фильтрами) в виртуальной памяти. Это также четко указано в строке состояния: «Поддерживается виртуальной памятью».
Чтобы полностью удалить невидимые события, вы можете активировать опцию «Удалить отфильтрованные события» в меню «Фильтр». В зависимости от того, насколько строги ваши фильтры, это значительно уменьшит объем данных.
Чтобы хранить данные на диске вместо памяти, вы можете использовать диалоговое окно «Файлы резервных копий», доступное в меню «Файл». Естественно, это снизит производительность Process Monitor.