Мне удалось найти решение. В OnStop()
методе службы мне нужно было создать новый экземпляр Process Monitor и передать /Terminate
аргумент:
Process process = new Process(); process.FileName = "\Procmon.exe" ; process.StartInfo.Arguments = "/AcceptEula /Terminate"; process.Start();
При этом он изящно останавливает все экземпляры Process Monitor .