У меня была точно такая же потребность, и, поэкспериментировав с различиями в реализации BusyBox, я создал этот 1-строчный bash-скрипт:
[/share/MD0_DATA] # cat ./touch_all_folders #!/bin/sh find -type d | sed 's/[^[:alnum:].\/_-]/\\&/g' | xargs touch -c
Вы можете настроить скрипт с параметрами по своему усмотрению. Команда sed экранирует все специальные символы имени файла.